Điện tử / Bán dẫn Giải pháp

Nỗi đau ngành

Lượng ẩm vết gây hỏng chip: Sản xuất bán dẫn yêu cầu hàm lượng ẩm trong khí nén cực kỳ thấp; lượng ẩm vết có thể gây oxy hóa chip, chập mạch và giảm tỷ lệ sản phẩm đạt đáng kể.

Sương dầu nhiễm bẩn ảnh hưởng chất lượng wafer: Sương dầu trong khí nén bám dính lên bề mặt wafer, gây lỗi trong quá trình lithography và khắc, ảnh hưởng nghiêm trọng đến chất lượng sản phẩm.

Hạt bụi vi mô gây chập mạch: Các hạt vi mô (≥0,1μm) có thể gây chập mạch hoặc đứt mạch bên trong chip, đòi hỏi yêu cầu độ sạch cực kỳ khắt khe.

Độ tin cậy vận hành liên tục 24/7*: Nhà máy bán dẫn thường hoạt động 24/7; hỏng hóc thiết bị hoặc biến động nguồn khí có thể làm dừng toàn bộ dây chuyền sản xuất, gây thiệt hại khổng lồ.

Giải pháp

Hệ thống sấy kết hợp điểm sương siêu thấp: Sử dụng máy sấy kết hợp để đầu ra ổn định ở điểm sương áp suất -40℃, đáp ứng yêu cầu khí siêu thấp ẩm khắt khe của sản xuất bán dẫn.

Hệ thống lọc chính xác cao bằng thép không gỉ toàn bộ: Trang bị bộ lọc chính xác vỏ thép không gỉ với độ lọc đạt 0,01μm, đảm bảo nguồn khí sạch không dầu, không bụi, không vi sinh vật.

Điều khiển thông minh PLC & giám sát từ xa: Trang bị hệ thống điều khiển PLC hỗ trợ giao tiếp RS485, cho phép giám sát từ xa, tự chẩn đoán lỗi và cảnh báo, hỗ trợ vận hành không người trực.

Thiết kế dự phòng & cung cấp khí không gián đoạn: Các công đoạn quan trọng áp dụng cấu hình N+1 hoặc dự phòng với chuyển đổi liền mạch, đảm bảo sản xuất liên tục của dây chuyền bán dẫn.

Sản phẩm đề xuất

Máy sấy khí nén kết hợp—DM110ZHMR

Máy sấy hấp phụ vi gia nhiệt—DM15MR / DM40MR

Máy sấy khí nén làm lạnh—DM026APF / DM026GF

Bộ lọc chính xác thép không gỉ